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光库科技领衔国家重点专项课题 推动光电子器件产品技术革新
日期: 2022-03-11
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为落实“十四五”期间国家科技创新有关部署安排,2021年12月光库科技参与国家科技部“信息光子技术”重点专项,作为子课题牵头单位负责“薄膜铌酸锂无源与有源光电子器件库研究”重点攻克铌酸锂平台无源与有源光电子器件的研究,低损耗铌酸锂波导制备工艺开发,以及光电子器件的射频封装技术的研究。同时,可为我国关键科研院所和企业提供工艺开发包(PDK)流片及高速射频封装服务。

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光库科技基于在高速铌酸锂调制器方面丰富的产品开发经验,以及在相关构建单元设计、制程和验证方面取得的重大进展,联合国内知名高校基于高精度波导的制备方法和工艺误差的校准技术等,开发高性能薄膜铌酸锂无源和有源光电子器件库,并建立国内首个PDK该PDK将面向器件设计、器件模拟、器件制备、工艺控制、及重复验证等提供服务,率先将薄膜铌酸锂作为核心材料,以光波导直刻工艺为技术基础,开发耦合器等光电子器件。

通过耦合器等光电子器件的开发,光库科技还将攻克消除光-电-热等多物理场相互耦合作用这一关键问题,并开发标准化薄膜铌酸锂芯片的射频封装技术,实现薄膜铌酸锂芯片的高性能射频封装,为薄膜铌酸锂光电子集成芯片的产品提供工艺基础和技术支撑。

项目将于2024年底完成,届时光库科技将整合国内首个PDK并结合自身薄膜铌酸锂产业研发生产基础,开放PDK流片及高速射频封装服务,焕发传统铌酸锂材料的新生。此举将彻底解决薄膜铌酸锂光电子芯片加工工艺平台欠缺的问题,推动光电子器件产品技术革新,促进集成光电子技术与微波光子技术的融合与发展,对我国高端光电子芯片产业快速发展意义重大。


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